�ȃX�y�[�X�Ȏ��[�������i�����{�[���˂��A�����̐������u�Ȃǂ̏��^���ɍv�� �F FA�j���[�X
THK�́A�R���p�N�g�`��ŏȃX�y�[�X�Ȏ��[�������i�����{�[���˂��uSDA-VZ�`�v�̎��J�n�����B�܂��A�T�|�[�g���j�b�g�uEK-L�^EF-L�`�v�����C���A�b�v�ɒlj������B
» 2024�N03��27�� 13��00�� ���J
�@THK��2024�N3��6���A�R���p�N�g�`��ŏȃX�y�[�X�Ȏ��[�������i�����{�[���˂��uSDA-VZ�`�v�̎��J�n�����B�܂��A�T�|�[�g���j�b�g�uEK-L�^EF-L�`�v�����C���A�b�v�ɒlj������B
�����{�[���˂��uSDA-VZ�`�v�A�T�|�[�g���j�b�g�uEK-L�^EF-L�`�v�m�N���b�N�Ŋg��n �o���FTHK
�@SDA-VZ�`�́A�˂����̒[���`����T�|�[�g���j�b�g�ɍ��킹�ĕW�������Ă���B�]���̃{�[���˂��Ɣ�ׂĊO�a�䂪�ő�30���������A�����̐������u��e��������u�ȂǁA���L������̎������ݔ����R���p�N�g���ł���B
�����̐����{�[���˂��ƁuSDA-VZ�v�̔�r�m�N���b�N�Ŋg��n �o���FTHK
�@�܂��A�{�[����ڐ������ɂ������グ������ɂ��A�ō���]��5000min�|1 �iDN�l�F10���j��B���B�����Ԃ̍����쓮�ł����肵���g���N����B
�@�˂����a�̃o���G�[�V�����́A��10�����25�܂ō��v151�`�Ԃ����낦�Ă���A�ڋq�̕��L���v���ɒZ�[���őΉ�����B
�@�T�|�[�g���j�b�g��EK-L�^EF-L�`�́A�{�[���˂��̒Ꮂ�S�����x������B���u�S�̂̃R���p�N�g���ɉ����ALM�K�C�h�̃T�C�Y�_�E����LM�K�C�h�����t����x�[�X���̉��H�����点��B
�]���i�uEK15�^EF15�v�ƒᎲ�S�p�uEK15L�^EF15L�v�̔�r�m�N���b�N�Ŋg��n �o���FTHK
�˂��̑��́uFA�j���[�X�v�̋L���͂�����
�����̘I���@�œ��n���[�J�[�͂Ȃ�ASML�ɔs�ꂽ�̂�
�@����w�C�m�x�[�V�����E�}�l�W�����g�����Z���^�[�̃V���|�W�E���u�C�O�̃W���C�A���g�Ɋw�ԃr�W�l�X�E�G�R�V�X�e���v�ł́A���{�ɂ�����d�q�����̎Y�Ƃ̖������l����V���|�W�E���u�C�O�̃W���C�A���g�Ɋw�ԃr�W�l�X�E�G�R�V�X�e���v���J�ÁB�����̘I���@�ƊE�œ��n��Ƃ��I�����_��ASML�ɔs�ꂽ�w�i�◝�R�ɂ��ĉ�������B
72��̑��u���ʼnғ��A���{���u�~�j�}���t�@�u�v���ς���v�V�^���m�Â���
�Y�����R���\�[�V�A�� �t�@�u�V�X�e��������Ȃǂ́uSEMICON Japan 2016�v�ŁA�u�~�j�}���t�@�u�̊J�����ʂ\�B��������Ȃǂ����i����~�j�}�����Y�����ɂ�鐻�����u�u�~�j�}���V���[�Y�v72���ݒu���A�����̐����H���̂قƂ�ǂ��J�o�[�ł���悤�ɂȂ������ʂ��A�s�[�������B
�Ȃ����{��2nm�̐�[���W�b�N�����̂����Ȃ���Ȃ�Ȃ��̂�
�����̂Ȃǃ}�C�N���G���N�g���j�N�X�����T�v���C�`�F�[���̍��ۓW����uSEMICON Japan 2022�v��2022�N12��14���ɊJ�����A�I�[�v�j���O�L�[�m�[�g�p�l���Ƃ��āA�V���Ȕ����̐�����Ђł���Rapidus�Ȃǂ��܂ށu�����́E�f�W�^���Y�Ɛ헪�v�ɐ[���ւ���v�����o�[���o�d���u�O���[�o�����[�_�[��ڎw���Y���w�헪�v���e�[�}�ɁA���{�ɂ����锼���̎Y�Ƃ݂̍����Љ�ϊv�̕������Ȃǂɂ��Č�����B
TSMC�͂Ȃ���p�O���ƂȂ�3DIC��R��D���_�����ɐݗ������̂�
��p�̔����̎���������ł���TSMC��2022�N6��24���A��錧���Ύs�̎Y�ƋZ�p�������������Z���^�[���ɐݒu�����uTSMC�W���p��3DIC�����J���Z���^�[�v�̊J�������s�����B���Z���^�[�ł͔����̔����̌��E���\�z����钆�A��H����3�����p�b�P�[�W�Z�p�̗ʎY���\�Ƃ��邽�߂̋Z�p�J������{�̍ޗ����[�J�[��u���[�J�[�A�����@�ւƂ̋��������Ŏ��{����B
�����̕s���̗��ő啱���A���ꂴ�锼���̏��Ђ̎d����m��
�����̕s���Ȃǂ̃j���[�X�ŁA�����̗̂��ʂɌg���u�����̏��Ёv�ɃX�|�b�g���C�g��������@��͂��܂�Ȃ��B�����̗̂��ʋƖ��Ɍg��鏤�Ђ̗��ꂩ�猩�āA�����̔����̕s���͂ǂ̂悤�Ɍ����Ă����̂��B�������������̏��Ђ͂ǂ̂悤�Ȏd�������Ă���̂��B�R�A�X�^�b�t��\������ɘb�����B
Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.