���f�B�A

�i�m�X�P�[���̂���̉e����}���A�����̐������u���ڎw��IoT���p�F������IoT

�uSEMICON Japan 2016�v��IoT�C�m�x�[�V�����t�H�[�����œo�d���������G���N�g�������s�����̐��_���F���́A�����̐����ɂ�����g����h�̊Ǘ��ƁAIoT���g�������Y������̎��g�݂ɂ‚��ďЉ���B

» 2016�N12��22�� 13��00�� ���J
[�������CMONOist]

�@�G���N�g���j�N�X�����T�v���C�`�F�[���̍��ۓW����uSEMICON Japan 2016�v�i12��14�`16���A�����r�b�O�T�C�g�j��IoT�C�m�x�[�V�����t�H�[�����œo�d���������G���N�g�������s�����̐��_���F���́u�v���Z�X�E���u�C���e���W�F���X����ɂ�鐻���v�V�v���e�[�}�ɍu���B�G�b�`���O���u�A�������u�A��򑕒u�ȂǕ��L�������̐����Ɋւ��鐻�i�Q�̊�ՂƂȂ�u�f�B�t�F�N�g�i���ׁj�R���g���[���v���Љ��ƂƂ��ɁAIoT�i���m�̃C���^�[�l�b�g�j���g�������Y������ւ̎��g�݂��Љ���B

�����Y���Ԃ������ɑ��₷��

photo �����G���N�g�������s�����̐��_���F��

�@�����̂̎��v�͔N�X���܂�A�Q�[���@�����Ë@��A�����ԂȂǂ��܂��܂ȕ���ő����̔����̂��g����悤�ɂȂ��Ă���B�A�v���P�[�V�������}���ɍL�����������B����͔����̃f�o�C�X�����@�\������ƂƂ��ɁA���׉��ɂ��`�b�v1�“������@�\�P�ʂł̃R�X�g���ቺ���A���L���Y�ƊE�Ŏg����悤�ɂȂ������Ƃɂ��B�u�����ԂȂǂő�ʂɔ����̂ɍ̗p�����̂����i�ቺ���ł��傫�ȗv���ł���v�Ɛ��_���͏q�ׂĂ���B

�@�����A���������X�����ϋǂ̎����}���‚‚���B���@�\���ɂ‚��ẮA�������⃍�W�b�N�ł��i���������Ă��邪�A���׉��ɂ‚��Ă͌��E�������n�߂Ă��邩�炾�B�`�b�v�P���A�@�\�P���̒ቺ�ɂ‚��Ă͐��Y���i�ǂꂾ���̗ʂ𐶎Y�ł��邩�A�P�ʎ��ԂɃE�G�n�[���ǂꂾ�������ł��邩�j�ƁA���������E�G�n�[�̒��ɂǂꂾ���̗Ǖi�����邩�i�����܂�R���g���[���j�̊|���Z�ƂȂ�B

�@�c�[���̐��Y�ʂ̓E�G�n�[�^���ԂȂǁu���̐������u������I�ɐ��Y�Ɋ�^�ł��邩�v�Ƃ����_��u�����Y���Ԃ��ǂꂾ���m�ۂł��邩�v�Ƃ����_���d�v�ɂȂ�B���Y���ɂ‚��ẮA�v���Z�X�̈��萫�����Ƀ`�F�b�N������A�\��O�̃����e�i���X���ǂ̒��x�̕p�x�ŋN�������肷�邩�i���u���_�E�����Ă��鎞�Ԃ��ǂ̂��炢���������j�����f�ޗ��ƂȂ�B

�ۑ�ƂȂ�p�[�e�B�N���̗}��

�@�����ł̉ۑ��1�‚��A�p�[�e�B�N���̔������ǂ��܂ŗ}�����邩�Ƃ������Ƃ��B�u�p�[�e�B�N���R���g���[���́A�܂��Ώۂ𗝉����āA���j�^�����O�����Ȃ���E�G�n�[��ɕt�����邱�Ƃ�j�~���邱�Ƃ��K�v���B����ɁA�����t�������炻����ǂ�����Ď�菜�������l���Ȃ���΂Ȃ�Ȃ��B�������܂߂����u�R���g���[���Ƃ������ƂɂȂ�v�Ɛ��_���͌��B

�@�����Ŏ��g�ނׂ��ΏۂƂȂ�p�[�e�B�N���̃T�C�Y�̓i�m���[�g���P�ʂƔ����ȃT�C�Y���B�E�G�n�[���������Ă��鎞�ɂ̓E�G�n�[��Ƀp�[�e�B�N���͕t�����Ȃ��B�E�G�n�[�𓱓����邽�߂̔����G���A�ƃv���Z�X�G���A�̊Ԃ̎d�؂�i�o���u�j���J����ۂ̋C���̉e���ŕ����������A�p�[�e�B�N���������オ���ĕt������̂��B

�@�����ő厖�Ȃ̂̓o���u���J����Ƃ��ɁA�Ռ��g�������Ȃ��悤�ɐÂ��ɊJ�‚��邱�Ƃ��B���Ƀp�[�e�B�N�������Ō�����悤�ɂ��邽�߂ɂ́AUV���C�g�𓖂ă`�F�b�N���s���B�܂��A���u�Ƃ��Ă�ISPM�iIn Situ Particle Monitor�j���A�r�C�̓r���ɐ݂��邱�Ƃɂ��A���u���̃p�[�e�B�N�����ǂꂾ���̐�������A�ǂ�����Ă��邩��������B

�@�E�G�n�[��ɕt�����Ă���p�[�e�B�N���ɂ‚��ẮA���𓖂Ă��̎U��������B����ł����i�m���[�g���̂��̂͌����ɂ������߁AALD-Ox Film Deposition�𑕒����邱�Ƃɂ��A��������傫�����ăp�[�e�B�N���̏󋵂��m�F����B

�@�E�G�n�[��ɕt�����Ȃ��悤�ɂ��邽�߂ɂ́A�v���Z�X��Ƀp�[�e�B�N������菜�����Ƃ��d�v���B��菜���ɂ́A�C�������߂āA�����o���́i�S�����j�����߂�Z�p���J�����Ă���B����ł��p�[�e�B�N�����t�����Ă��܂����ꍇ�́A�]���͐�򏈗��Ŏ�菜���Ă����B�������A�����̂̍\������蕡�G�ɂȂ��Ă��邽�߁A�������̊����H���ŁA�\�ʒ��͂ɂ��p�^�[���ւ̃_���[�W���N���邱�Ƃ�����B�����G���N�g�����̃T�[�t�F�X�v���p���[�V�������uANTALES�̓K�X��ቷ�G�A���]�������A�ׂ������q�ɂ��ăE�G�n�[�ɐ����t���邱�Ƃɂ��i�m�X�P�[���p�[�e�B�N�����f�o�C�X�ւ̃_���[�W�����Ȃ��������”\���Ƃ��Ă���B

IoT���p�Ńp�[�e�B�N���Ǘ������x��

�@���_���́u���コ��ɍ����\�Ȑ������u�𐻑����A�񋟂��Ă������߂ɁAIoT�̋Z�p�𐻑����u�̐i���Ɏg�������v�ƌ���Ă���B���u�̏󋵂����Ȑf�f���A���܂��܂ȃv���Z�X��AI�i�l�H�m�\�j�Ȃǂɂ��œK�������ȃR���g���[������A�v���P�[�V�������J��������j�ł���B����ɂ����萫�̍����ғ���A����I�ł͂Ȃ��K�v�ɉ����đ��u���~�߂ă����e�i���X�����邱�ƂŁA��荂�����Y���ɂ‚Ȃ���B�����������Ƃ�ʂ��đ��u�̉—p�������߂Ă����B

�@�����IoT�̒ʐM�\�͂𗘗p���A���[�U�[�̑��u�̏󋵂����j�^�����O���āA���u�̃T�|�[�g�̐������߂Ă����B�uIoT�ł̃Z�L�����e�B�\�͂����܂��Ă��邽�߁A�����������g�݂��”\�������܂��Ă���v�Ɛ��_���͍���̎��g�݂ɂ‚��ďq�ׂĂ���B

Copyright © ITmedia, Inc. All Rights Reserved.

OSZAR »